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方向三:微纳驱动与系统
2016-05-17 16:04:07     (阅读:)

微纳驱动与系统:面向MEMS微传感器、微能源、微流体等,开展相关功能材料制备、微加工工艺、微器件系统集成和应用等方面研究。

 


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